壓力傳感器的應(yīng)用非常廣泛，應(yīng)用環(huán)境也是十分多樣，在環(huán)境比較惡劣應(yīng)用環(huán)境下，對(duì)壓力傳感器的要求會(huì)比較苛刻，例如，在對(duì)高沖擊壓力、高過(guò)載壓力的測(cè)量應(yīng)用，常規(guī)的壓力傳感器和測(cè)量手段就無(wú)法滿足這種環(huán)境的測(cè)量要求。

一般地，使用普通的陶瓷壓力傳感器或者擴(kuò)散硅壓力傳感器來(lái)測(cè)量高沖擊壓力，但不是直接進(jìn)行測(cè)量，這時(shí)我們可以在壓力前端加一個(gè)緩沖管，這樣可以實(shí)現(xiàn)對(duì)沖擊壓力的緩沖，對(duì)于壓力沖擊不是特別嚴(yán)重的應(yīng)用也能測(cè)量沖擊性壓力。這種方法經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，可以滿足輕微沖擊壓力的測(cè)量。

最根本的解決辦法必須從壓力變送器本身來(lái)解決。改變壓力變送器的核心測(cè)量芯片，而不是采用普通的陶瓷芯體或者擴(kuò)散硅芯體，這樣可以從源頭上提高壓力變送器的抗沖擊和過(guò)載的能力，例如采用濺射壓力傳感器芯片或者傳統(tǒng)的應(yīng)變壓力薄膜來(lái)作為壓力測(cè)量的核心敏感部件。濺射壓力技術(shù)由于其本身有許多優(yōu)點(diǎn)，在大壓力、惡劣測(cè)量環(huán)境下的應(yīng)用現(xiàn)狀基本上已經(jīng)全面取代陶瓷壓力傳感器和擴(kuò)散硅壓力傳感器。

附錄：《CYB320濺射膜壓力傳感器的過(guò)載試驗(yàn)報(bào)告》，注：本報(bào)告有刪節(jié)，詳細(xì)完整報(bào)告請(qǐng)聯(lián)系澤天傳感。

試驗(yàn)?zāi)康模簷z驗(yàn)CYB320濺射膜壓力傳感器測(cè)量最大過(guò)載壓力范圍，本實(shí)驗(yàn)是CYB系列壓力變送器可靠性與長(zhǎng)期穩(wěn)定性試驗(yàn)的一部分，通過(guò)本試驗(yàn)，掌握CYB系列壓力傳感器的全面技術(shù)性能，為客戶提供產(chǎn)品適合的應(yīng)用環(huán)境以便更加合理的選型。

試驗(yàn)對(duì)象：CYB320濺射膜壓力傳感器，額定量程為2MPa。

試驗(yàn)設(shè)備：ZPS200型液壓疲勞試驗(yàn)及相關(guān)保護(hù)設(shè)備；2000型多用數(shù)字表；DH1715雙路穩(wěn)壓電源；高速數(shù)據(jù)采集設(shè)備與軟件。

試驗(yàn)方法步驟：

1.將試驗(yàn)的CYB320濺射膜壓力傳感器連接到液壓疲勞機(jī)的輸出接口上，給傳感器加上9V.DC的激勵(lì)電壓，通電10分鐘后記錄傳感器空載下的零點(diǎn)輸出；

2.調(diào)節(jié)疲勞機(jī)的壓力等于2MPa，觀察CYB320濺射膜壓力傳感器輸出，保壓至傳感器輸出恒定，記錄傳感器的輸出值，然后卸載，5分鐘后記錄零點(diǎn)；

3.按照第2步.分別調(diào)節(jié)疲勞機(jī)壓力等于2.5、3MPa……（以0.5MPa間隔往上遞增），并分別記錄傳感器加載、卸載狀態(tài)下的傳感器的輸出情況，直至傳感器遭到破壞。

試驗(yàn)結(jié)果：2012年9月10日過(guò)載測(cè)試情況（輸出單位mV）如下表：

從以上過(guò)載測(cè)試結(jié)果可以看出，2MPa的壓力傳感器在過(guò)載到6.5MPa已經(jīng)遭到了破壞，其電橋的橋臂電阻值由于過(guò)度的變形而產(chǎn)生了不可恢復(fù)的變化，并無(wú)法正常工作，傳感器電橋輸出達(dá)69.06mV。即壓力傳感器的破壞過(guò)載為325%FS。且傳感器可以過(guò)載300%FS，完全可以滿足200%FS的壓力測(cè)試環(huán)境中。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。