高精度濺射傳感器在制造中還需要一系列的補償用來改善傳感器的技術參數(shù)，主要是靈敏度溫度補償、靈敏度補償、零點平衡補償、零點溫度補償。下面主要介紹應變式濺射壓力傳感器各種補償?shù)姆椒把a償電阻器的選用。

(1)靈敏度溫度補償（亦稱彈性模量補償）：通常采用固定式（或組合式）補償電阻器。當傳感器所處環(huán)境的溫度發(fā)生變化時，壓力傳感器彈性元件的彈性模量和應變計的靈敏系數(shù)隨之改變，傳感器的靈敏度也因此發(fā)生相應的變化，從而產(chǎn)生測量誤差。為此，高精度傳感器對這種誤差進行補償。具體方法是：在供橋回路中串入補償電阻器，利用其電阻隨溫度變化且方向正好與傳感器靈敏度的變化相反的特征，來抵消溫度變化引起的傳感器靈敏度的漂移，從而達到補償?shù)哪康摹Ｑa償電阻大小可通過公式： Rm=[(S1-S2)*Rin]/{[1+ac*(T1-T2)]*S1-S2}計算得到。其中Rm為補償電阻器電阻值；S1、S2分別為溫度T1、T2時的傳感器靈敏度；Rin為溫度T1時橋路輸入電阻;ac為補償電阻器的電阻溫度系數(shù)。

(2)靈敏度補償：可采用電阻溫度系數(shù)較小的絲材。由于彈性元件材料、加工尺寸以及應變計靈敏系數(shù)存在差異，傳感器的靈敏度分散（<1%）迭加，傳感器的靈敏度往往比較大。為了提高傳感器互換性，在傳感器制造中，一般有意將其靈敏度設計稍高于標準值，然后在加工中根據(jù)實測結果再把它調(diào)整為標準值。具體方法是：在供橋回路中串入電阻溫度系數(shù)較小的補償電阻器，使傳感器的實際供橋電壓降低，從而降低傳感器的靈敏度。補償電阻器的阻值大小可通過公式：Rc=(S1-S0)/S0*R計算得到。其中Rc為補償電阻器電阻值；S1、S2分別為串入Rc前實測靈敏度和調(diào)整后要求的標準靈敏度；R為橋路的輸入阻值。

(3)零點平衡補償：通常采用在橋路中某一橋臂上串聯(lián)一電阻溫度系數(shù)較小的補償電阻的方法，使傳感器的應變計橋路在空載時輸出近似為零，以減少測量誤差和便于測量儀表調(diào)零。通常采用結構為摩擦式、切割式或短接式的補償電阻器，它們均可以靈活方便地調(diào)整橋路的零點。摩擦式補償電阻器可采用調(diào)阻研磨粉對箔柵進行打磨調(diào)整電阻值；切割式補償電阻器可通過切割連接柵的方法調(diào)整電阻值；短接式補償電阻器則采用短接連接柵的方法調(diào)整電阻值。例如,我們設定應變計R1、R3感受亞向應變（負應變）、應變計R2、R4感受拉向應變（正應變）。如果零點輸出為正，那么，應該向ab端電阻增大（即通過打磨的方式將其電阻值增大），同時檢測零位輸出，直到零位輸出達到零為止；如果零點輸出為負，那么，應該將ac端電阻增大（即通過打磨的方式將其電阻值增大），同時檢測零位輸出，直到零位輸出達到零為止。

(4)零點溫度補償：通常采用在橋路某一橋臂中串聯(lián)一電阻溫度系數(shù)較大的純銅絲、鎳絲漆包線的方法來減少溫度對零點輸出的影響。傳感器空載輸出基本為零，當傳感器的溫度變化時，一方面彈性元件、粘結劑、應變計都有不同程度的熱脹冷所縮，引起應變計電阻變化；另一方面敏感柵材料的電阻溫度系數(shù)也會引起應變計電阻變化。這些均會影響到傳感器的零點輸出，即使采用溫度自補償應變計和全橋接法，由于應變計溫度性能分散等原因，溫度變化時輸出零位多少有些變化，所以要對其進行補償。具有做法是：

先對濺射壓力傳感器進行溫度試驗，得出補償電阻-零點溫度漂移的規(guī)律后，按照各個傳感器的溫度零點漂移值對應的電阻，調(diào)整相應橋臂補償電阻器的阻值。補償電阻器的阻值可通過公式：

Rt=│R*(U2-U1)│/│250*ac*Uin*(T2-T1)│計算得到。其中Rt為補償電阻器電阻值；R為橋臂電阻值；Uin為供橋電壓；ac為補償電阻器的電阻溫度系數(shù)；U1、U2分別為溫度T1、T2時的零點輸出電壓。零點溫度補償通常采用補償絲或結構為摩擦式、切割柵式及短接式的補償電阻器。

零點溫度補償原理基本和零點平衡補償相似，只不過需要在模擬溫度場下完成。舉例說明，我們設定應變計R1、R3感受亞向應變（負應變）、應變計R2、R4感受拉向應變（正應變）。如果零點輸出(以正溫為例，正溫下的零點輸出與常溫零點輸出差值即為零點溫度輸出)為正，那么，應該將fg端電阻增大到計算的阻值（即通過打磨的方式將其電阻值增大），然后檢測溫度零位輸出再進行調(diào)整，直到零位輸出與初始零點一致為止；如果零點輸出為負，那么，應該將ef端電阻增大（即通過打磨的方式將其電阻值增大），然后檢測溫度零位輸出再進行調(diào)整，直到零位輸出與初始零點一致為止。本文源自澤天傳感，轉載請保留出處。